半導(dǎo)體光刻材料生產(chǎn)過程中的控溫循環(huán)機組是確保光刻膠涂布、顯影等關(guān)鍵工藝穩(wěn)定性的核心設(shè)備之一。
半導(dǎo)體光刻材料生產(chǎn)控溫循環(huán)機組功能
高精度溫控：通常需維持±0.1℃甚至±0.01℃的穩(wěn)定性，避免溫度波動導(dǎo)致光刻膠性質(zhì)變化。
快速響應(yīng)：應(yīng)對工藝中的動態(tài)熱負荷（如硅片加熱/冷卻）。
潔凈度：循環(huán)介質(zhì)（通常為超純水或特殊流體）需滿足半導(dǎo)體級潔凈標準（顆粒物≤0.1μm）。
多區(qū)域協(xié)同：支持光刻機、涂膠機、烘烤板等多設(shè)備并聯(lián)控溫。
半導(dǎo)體光刻材料生產(chǎn)控溫循環(huán)機組系統(tǒng)組成
制冷/加熱模塊：
采用壓縮機制冷（變頻渦旋式），搭配電加熱器實現(xiàn)雙向調(diào)溫。
冗余設(shè)計確保24/7連續(xù)運行。
循環(huán)單元：
磁力驅(qū)動泵（無金屬污染風(fēng)險）、鈦合金/PTFE管路。
低流量波動設(shè)計（脈動阻尼器）。
溫度傳感器：
PT100或薄膜鉑電阻（Class A級精度），多探頭冗余校驗。
控制系統(tǒng)：
PID算法+前饋控制，集成FFT濾波消除噪聲干擾。
支持SECS/GEM通信協(xié)議，與Fab MES系統(tǒng)對接。
康士捷有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、超低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列產(chǎn)品供貴司選用。選型，價格，方案等與18936116791賴先生溝通
